Pivotal Systems Corp 为半导体行业提供气体流量监测和控制技术平台。其产品包括气体流量控制器、气体流量监控器和传感器 X。该公司推出了一款新的气体流量控制器 GFC-H-5L、GFC-H-20L 和 GFC-H -50L。其产品可对晶圆加工中难以控制的参数(包括气体流量和腔室条件)进行实时监控和控制。从地理上讲,它从亚洲地区创造了最大的收入。
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